NanoSystem NV-1800 3D輪廓儀是一種手動(dòng)的非接觸式三維輪廓儀，適用于任何表面。其設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，忠實(shí)于基本功能。Nanosystem利用自己的patented算法和白光干涉技術(shù)創(chuàng)造H/W和S/W。Patented的WSI/PSI技術(shù)測(cè)量各種表面材料和參數(shù)，包括表面紋理、形狀、臺(tái)階高度和更高(0.1nm-垂直和0.2 um-橫向分辨率)的二維和三維剖面。

白光掃描干涉技術(shù)(WSI)是一種測(cè)量高分辨率(0.1nm)、高速測(cè)量表面積、高度和體積的技術(shù)。在不破壞任何破壞的情況下，納米系統(tǒng)的WSI技術(shù)(白光掃描干涉法)能在幾秒鐘內(nèi)從0.1nm到10000μm范圍內(nèi)測(cè)量樣品，并提供真實(shí)的樣品三維形狀。此外，重復(fù)性小于0.1%(1σ)，無(wú)論放大，z軸分辨率為0.1nm?；诩{米系統(tǒng)技術(shù)的精度(高精度、重復(fù)性和重復(fù)性)，該產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、印刷電路板、顯示、工程部件、化工材料、光學(xué)部件、生物、R&D等領(lǐng)域。

NanoSystem NV-1800 3D輪廓儀提供高分辨率(0.1nm)、10萬(wàn)倍放大率(10 Mm)和高清晰度圖像，在0.1nm至10000 μm范圍內(nèi)，在2秒內(nèi)測(cè)量樣品，提供真實(shí)的2D/3D樣品形貌，無(wú)需準(zhǔn)備(只需將樣品直接放在樣品臺(tái)上)，測(cè)量任意尺寸和幾乎任何材料的樣品(反射率為1%)。

NV-1800的優(yōu)點(diǎn)

·       優(yōu)良的測(cè)量精度

·       無(wú)需振動(dòng)臺(tái)面

·       抗振動(dòng)的緊湊設(shè)計(jì)

·       快速測(cè)量速度

·       友好的測(cè)量界面

·       全手動(dòng)操作

·       2D和3D多功能性能

主要功能

·       3D 形貌測(cè)量- 粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (選項(xiàng))

·       高度，深度，寬度(從亞納米到10)·

·       面積信息(體積，面積)-2D, 3D Measurement

產(chǎn)品規(guī)格：

·       干涉物鏡：?jiǎn)瓮哥R可選

·       掃描范圍：0-180um（270um可選）

·       垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm

·       傾斜臺(tái)：±3°

·       Z軸行程：30mm（手動(dòng)）

·       工作臺(tái)面：50X50mm（手動(dòng)）

應(yīng)用領(lǐng)域：

Nano View系列為LCD（液晶顯示器）、IC Package（芯片封裝）、Substrate（基板）、Build-up PCB（積層板）、MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)），Engineering Surfaces（工程表面）等等領(lǐng)域提供納米級(jí)別精度的量測(cè)。