奧林巴斯OLYMPUS 3D測(cè)量激光顯微鏡OLS5000

Olympus 3D測(cè)量激光顯微鏡OLS5000作為3D測(cè)量顯微鏡有著更真實(shí)的三維形貌反映能力，具有操作更便捷、更快速的優(yōu)勢(shì)。OLS5000采用計(jì)算機(jī)直觀控制，搭載的掃描算法，可通過(guò)計(jì)算機(jī)的處理轉(zhuǎn)換，快速獲得完整帶有高度信息的樣品表面圖像，并通過(guò)對(duì)樣品不同層面的掃描和計(jì)算機(jī)處理。在使用時(shí)，只要在放置樣品后按動(dòng)按鈕，設(shè)備就會(huì)自動(dòng)進(jìn)行工作，無(wú)需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整，即使是不熟練的用戶也可獲準(zhǔn)確的檢測(cè)結(jié)果，簡(jiǎn)化工作流程。 　　

一直以來(lái)，奧林巴斯致力于滿足各領(lǐng)域用戶的多樣需求，不斷行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)，通過(guò)不斷研發(fā)新產(chǎn)品，順應(yīng)市場(chǎng)變化，在工業(yè)顯微鏡領(lǐng)域始終保持著技術(shù)優(yōu)勢(shì)。3D測(cè)量激光顯微鏡在已經(jīng)是一種被廣泛采用的技術(shù)。　　

隨著物聯(lián)網(wǎng)、云科技、新能源汽車的發(fā)展需求，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展。針對(duì)這一趨勢(shì)，奧林巴斯陸續(xù)推出BX系列、STM系列、MX系列產(chǎn)品，與這次發(fā)布會(huì)的激光顯微鏡構(gòu)成了針對(duì)半導(dǎo)體前后道檢測(cè)市場(chǎng)的較為完善的產(chǎn)品線。Olympus 3D測(cè)量激光顯微鏡OLS5000目標(biāo)市場(chǎng)從研發(fā)、質(zhì)檢為主的研究級(jí)擴(kuò)展到涵蓋生產(chǎn)線的制造級(jí)市場(chǎng)。從行業(yè)應(yīng)用方向來(lái)說(shuō)，半導(dǎo)體/電子、機(jī)械重工設(shè)備、石油質(zhì)地都是該產(chǎn)品目標(biāo)市場(chǎng)。同時(shí)，新產(chǎn)品在汽車行業(yè)還會(huì)有更多突破。

激光共聚焦掃描顯微鏡的發(fā)展在國(guó)外是從80年代末期開(kāi)始的，目前在日本，已經(jīng)是一種被廣泛采用的技術(shù)，既用來(lái)觀察樣品表面亞μm程度(0.2μm)的三維形態(tài)和形貌，又可以測(cè)量多種微小的尺寸，諸如體積、面積、晶粒、膜厚、深度、長(zhǎng)寬、線粗糙度、面粗糙度等。
 

LEXT OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。
 

[獲取彩色信息] 
彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機(jī)獲取彩色信息。
 

[獲取 3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測(cè)量樣品的表面不規(guī)則性。

[405納米激光光源]

光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長(zhǎng)的減小而獲得提升。采用短波長(zhǎng)激光的激光顯微鏡相比采用可見(jiàn)光（峰值550納米）的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長(zhǎng)激光二極管獲得的橫向分辨率。

[激光共焦光學(xué)系統(tǒng)]

激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過(guò)圓形針孔聚焦的光線，并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊，讓其能夠獲得比普通顯微鏡對(duì)比度更高的圖像。

[X-Y掃描儀]
OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過(guò)將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對(duì)物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。

[高度測(cè)量原理]

在測(cè)量高度時(shí)，顯微鏡通過(guò)自動(dòng)移動(dòng)焦點(diǎn)位置獲取多個(gè)共焦圖像。
根據(jù)非連續(xù)的焦點(diǎn)位置（Z）和檢測(cè)光強(qiáng)度（I）可以估算每個(gè)像素的光強(qiáng)變化曲線（I-Z曲線），并獲得其峰值位置和峰值強(qiáng)度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對(duì)應(yīng)，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似，通過(guò)峰值強(qiáng)度數(shù)據(jù)可以獲得針對(duì)樣品表面所有位置焦點(diǎn)的圖像（擴(kuò)展圖像）。

型號(hào)規(guī)格